聚焦离子束FIB-SEM扫描电镜：探索微观世界的新工具 聚焦离子束FIB-SEM扫描电镜是一种新型的扫描电镜，它结合了离子束和电子束的优势，可以实现高分辨率、高灵敏度的成像和加工。该技术在材料科学、生物学、纳米技术等领域有广泛应用。本文将介绍聚焦离子束FIB-SEM扫描电镜的原理、应用、优缺点等方面，为读者深入了解该技术提供背景信息。 原理 聚焦离子束FIB-SEM扫描电镜是利用离子束和电子束相互作用的原理进行成像和加工的。离子束可以在材料表面形成微小的凸起，电子束可以扫描这些凸起并产生信号，